Tingginya aktivitas penduduk dapat menyebabkan adanya pencemaran udara yang berpotensi terjadinya peristiwa deposisi asam baik di wilayah urban dan sub urban. Hal ini memungkinkan terjadinya penurunan kualitas udara pada wilayah urban dan sub urban. Penelitian ini bertujuan untuk mengukur konsentrasi zat pencemar udara deposisi kering berupa partikulat dan gas, serta mengidentifikasi sumber pencemar udara parameter deposisi kering di wilayah Jakarta (Urban) dan Serpong (Sub Urban). Sampling dilakukan secara kontinyu setiap dua minggu selama periode Tahun 2020 dengan metode Filter Pack menggunakan Four Stage Filter Pack yang meliputi dua parameter yaitu penentuan kadar pertikulat SO42-, NO3-, Cl-, NH4+, Na+, K+, Mg2+, dan Ca2+ dalam aerosol dan gas SO2, HNO3, HCl dan NH3. Hasil sampling dianalisis menggunakan instrumen Ion Chromatography (IC) DIONEX ICS6000 dengan eluen anion NaOH 20 mM dan eluen kation Methane Sulphonic Acid (MSA) 8 mM pada laju alir pengukuran 1,5 L/menit. Penelitian ini menghasilkan konsentrasi partikulat SO42- dan gas NH3 di setiap lokasi yang merupakan polutan dominan dalam deposisi kering. Konsentrasi partikulat dan gas di wilayah urban dan sub urban masih berada di bawah ambang batas dengan nilai konsentrasi SO42- di wilayah Urban 4.08 μg/m3 dan di wilayah sub urban 5,05 μg/m3. Persentase senyawa NH3 di wilayah urban dan sub urban masing-masing sebesar 67%, dan 76%. Pengolahan data dilakukan analisis statistik dengan pemodelan Positif Matrix Factorization (PMF) terhadap data pemantauan deposisi kering pada tahun 2015 hingga 2020. Hasil Positive Matrix Factorization (PMF) diperoleh 7 Faktor sumber pencemar yang bersumber dari sumber tanah dan debu, emisi kendaraan bermotor, pembakaran biomass, pembakaran bahan bakar bensin dan diesel, kontribusi air laut, aktivitas agrikultural (pertanian), dan aktivitas peternakan. Kata kunci: deposisi kering;filter pack;ion chromatography;PMF