Material fotokatalis merupakan material yang berperan sebagai katalis dalam proses fotodegradasi. Untuk meningkatkan kemampuan fotokatalis diperlukan material dan pengunaan teknik sintesis yang tepat. Karena itu pada penelitian ini, dilakukan pembuatan lapisan tipis ZnO dengan subsrat glass menggunakan teknik Pulsed Laser Deposition (PLD) dengan panjang gelombang 1064, dan dilakukan variasi energi laser, waktu deposisi, dan ukuran subsrat yang digunakan, serta dilakukan juga penambahan doping Cu. Metode karakterisasi dilakukan mengunakan Field Emission Scanning Electron Microscope (FESEM), X-Ray diffraction (XRD), dan Ultraviolet-visible & Raman Spectrophotometry. Pengujian fotokatalis dilakukan mengunakan pewarna MetyhleneBlue dan sumber cahaya UV-C dan dilakukan pemaparan selama 4 jam. Hasil dari fotokatalis dengan subsrat glass terlihat adanya fotokatalis yang aktif dan berhasil melakukan penurunan degradasi dengan hasil terbaik pada ukuran 1.5 cm sebesar 90% dan ukuran 2 cm sebesar 94.2%. Namun ketika dilakukan penambahan doping Cu, hasil degradasi-nya tidak lebih baik dari sebelum dilakukan doping bahkan hasil degradasi-nya masih dibawah 90%, kemungkinan besar ini terjadi karena terlalu tebalnya penambahan Cu dan mengurangi area fotokatalis yang aktif.
Kata kunci: laser Nd-YAG Q-Smart 850, PLD, Fotokatalis, ZnO, Cu